Nouvelles recherches sur les films ultra-mincesphotodétecteur InGaAs
Les progrès de la technologie d'imagerie infrarouge à ondes courtes (SWIR) ont considérablement contribué aux systèmes de vision nocturne, au contrôle industriel, à la recherche scientifique, à la sécurité et à d'autres domaines. Face à la demande croissante de détection au-delà du spectre visible, le développement des capteurs d'images infrarouges à ondes courtes est en constante progression. Cependant, l'obtention d'une haute résolution et d'un faible bruit reste un défi.photodétecteur à large spectreIl reste confronté à de nombreux défis techniques. Bien que les photodétecteurs infrarouges à ondes courtes InGaAs traditionnels présentent une excellente efficacité de conversion photoélectrique et une mobilité des porteurs élevée, il existe une contradiction fondamentale entre leurs principaux indicateurs de performance et la structure du dispositif. Pour obtenir une efficacité quantique (QE) plus élevée, les conceptions conventionnelles nécessitent une couche d'absorption (AL) de 3 micromètres ou plus, ce qui engendre divers problèmes.
Afin de réduire l'épaisseur de la couche d'absorption (TAL) dans l'infrarouge à ondes courtes InGaAsphotodétecteurIl est crucial de compenser la réduction de l'absorption aux grandes longueurs d'onde, notamment lorsque l'épaisseur réduite de la couche absorbante entraîne une absorption insuffisante dans cette gamme spectrale. La figure 1a illustre la méthode de compensation de cette faible épaisseur par l'allongement du trajet optique. Cette étude améliore le rendement quantique (QE) dans l'infrarouge à ondes courtes grâce à l'introduction d'une structure de résonance de mode guidé (GMR) à base de TiOx/Au sur la face arrière du dispositif.
Date de publication : 24 février 2026